标准号：GB/T 38447-2020

中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
英文标准名称：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
L55
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-07-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
备注
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