标准号：GB/T 16879-1997 采
中文标准名称：掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
英文标准名称：Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment
标准状态： 现行
该标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统不提供文本阅读服务
中国标准分类号（CCS）
L97
国际标准分类号（ICS）
31.020
发布日期
1997-06-20
实施日期
1998-03-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家技术监督局
备注
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