标准号：GB/T 32280-2022

中文标准名称：硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法
英文标准名称：Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H21
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2022-03-09
实施日期
2022-10-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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