标准号：GB/T 31227-2014

中文标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文标准名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
J04
国际标准分类号（ICS）
17.040.20
发布日期
2014-09-30
实施日期
2015-04-15
主管部门
中国科学院
归口部门
中国科学院
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2014年第22号公告
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