标准号：GB/T 6616-2009 采
中文标准名称：半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
英文标准名称：Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge
标准状态： 废止
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中国标准分类号（CCS）
H80
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2010-06-01实施,代替GB/T 6616-1995
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