标准号：GB/T 6616-2009 采

中文标准名称：半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

英文标准名称：Test methods for measuring resistivity of semiconductor wafers or sheet resistance of semiconductor films with a noncontact eddy-current gauge

标准状态： 废止

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