标准号:GB/T 34898-2017 |
中文标准名称:微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 | |
英文标准名称:Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element | |
标准状态: 现行 | |
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