标准号：GB/T 42158-2023 采 |
| 中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 | |
| 英文标准名称：Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures | |
| 标准状态： 现行 | |
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