标准号：GB/T 14146-2021

中文标准名称：硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
英文标准名称：Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H21
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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