标准号：GB/T 47725-2026

中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求
英文标准名称：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias
标准状态： 即将实施
中国标准分类号（CCS）
L55
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2026-05-25
实施日期
2026-12-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
备注
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