标准号：GB/T 29507-2013

中文标准名称：硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
英文标准名称：Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H80
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2013年第6号公告
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