标准号:GB/T 32278-2025

中文标准名称:碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法
英文标准名称:Test method for thickness and fltaness of monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态: 现行
中国标准分类号(CCS)
H 21
国际标准分类号(ICS)
77.040
发布日期
2025-08-01
实施日期
2026-02-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
备注