标准号:GB/T 24581-2009

中文标准名称:低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
英文标准名称:Test method for low temperature FT-IR analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities
标准状态: 废止
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中国标准分类号(CCS)
H80
国际标准分类号(ICS)
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2010-06-01实施
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