标准号：GB/T 43894.1-2024

中文标准名称：半导体晶片近边缘几何形态评价第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）
英文标准名称：Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry—Part 1:Measured height data array using a curvature metric（ZDD）
标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）

H21

国际标准分类号（ICS）

77.040

发布日期

2024-04-25

实施日期

2024-11-01

主管部门

国家标准委

归口部门

国家标准委

发布单位

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

备注