标准号：GB/T 14847-2025 |
| 中文标准名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法 | |
| 英文标准名称：Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates—Infrared reflectance method | |
| 标准状态： 即将实施 | |
|
版权所有：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 京ICP备18022388号-1 网站技术支持：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心 支持电话：010-82261056 |
|