标准号：GB/T 16596-2019

中文标准名称：确定晶片坐标系规范
英文标准名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H80
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2019-03-25
实施日期
2020-02-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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