标准号：GB/T 19922-2005

中文标准名称：硅片局部平整度非接触式标准测试方法
英文标准名称：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H17
国际标准分类号（ICS）
77.040.01
发布日期
2005-09-19
实施日期
2006-04-01
主管部门
工业和信息化部（电子）
归口部门
工业和信息化部（电子）
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2006-04-01实施
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