标准号：GB/T 42709.3-2026 采 |
| 中文标准名称：半导体器件 微电子机械器件 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片 | |
| 英文标准名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing | |
| 标准状态： 即将实施 | |
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