标准号：GB/T 14141-2009

中文标准名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
英文标准名称：Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H80
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2010-06-01实施,代替GB/T 14141-1993
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