标准号：GB/T 43661-2024 采

中文标准名称：表面化学分析扫描探针显微术用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准
英文标准名称：Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
标准状态：现行
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中国标准分类号（CCS）

G04

国际标准分类号（ICS）

71.040.40

发布日期

2024-03-15

实施日期

2024-10-01

主管部门

国家标准委

归口部门

国家标准委

发布单位

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

备注