标准号：GB/T 43748-2024

中文标准名称：微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
英文标准名称：Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）

N 33

国际标准分类号（ICS）

71.040.40

发布日期

2024-03-15

实施日期

2024-10-01

主管部门

国家标准委

归口部门

国家标准委

发布单位

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

备注