标准号：GB/T 47927-2026

中文标准名称：半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘
英文标准名称：Diamond discs for dressing the chemical mechanical polishing (CMP) pad of semiconductor chips
标准状态： 即将实施
中国标准分类号（CCS）
J 43
国际标准分类号（ICS）
25.100.70
发布日期
2026-07-30
实施日期
2027-02-01
主管部门
中国机械工业联合会
归口部门
中国机械工业联合会
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
备注
  • 版权所有 侵权必究
  • 主管：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
  • 主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
  • 技术支持：北京中标赛宇科技有限公司
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  • 备案号：京ICP备18022388号-1