标准号：GB/T 42897-2023

中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
英文标准名称：Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
L59
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2023-08-06
实施日期
2023-12-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
备注
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