标准号：GB/T 34900-2017

中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
英文标准名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for residual strain measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
L55
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-05-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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