标准号：GB/T 31351-2014

中文标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
英文标准名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H26
国际标准分类号（ICS）
77.040.99
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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