标准号：GB/T 36053-2018 采
中文标准名称：X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
英文标准名称：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
标准状态： 现行
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中国标准分类号（CCS）
G04
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2018-03-15
实施日期
2019-02-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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