标准号：GB/T 42106-2022

中文标准名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
英文标准名称：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
A42
国际标准分类号（ICS）
07.030
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-07-01
主管部门
中国科学院
归口部门
中国科学院
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
备注
版权所有：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 京ICP备18022388号-1
网站技术支持：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心 支持电话：010-82261056