标准号：GB/T 26070-2010

中文标准名称：化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
英文标准名称：Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H17
国际标准分类号（ICS）
77.040.99
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2011-10-01实施
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