标准号：GB/T 11073-2007

中文标准名称：硅片径向电阻率变化的测量方法
英文标准名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H17
国际标准分类号（ICS）
77.040.01
发布日期
2007-09-11
实施日期
2008-02-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2008-02-01实施,代替GB/T 11073-1989
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