标准号：GB/T 29056-2025 |
| 中文标准名称：硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | |
| 英文标准名称：Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy—Inductively coupled plasma mass spectrometry | |
| 标准状态： 即将实施 | |
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