标准号：GB/T 37049-2018

中文标准名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H17
国际标准分类号（ICS）
77.040.30
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-04-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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