标准号：GB/T 26068-2010

中文标准名称：硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法
英文标准名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance
标准状态： 废止
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中国标准分类号（CCS）
H80
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2011-10-01实施
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