标准号：GB/T 6616-2023

中文标准名称：半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法
英文标准名称：Test method for resistivity of semiconductor wafers and sheet resistance of semiconductor films—Noncontact eddy-current gauge
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H21
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
备注
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