标准号：GB/T 40110-2021 采
中文标准名称：表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
英文标准名称：Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
标准状态： 现行
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中国标准分类号（CCS）
G04
国际标准分类号（ICS）
71.040.40
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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