标准号：GB/T 17866-1999 采 |
| 中文标准名称：掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 | |
| 英文标准名称：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems | |
| 标准状态： 现行 | |
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