标准号：GB/T 19444-2004

中文标准名称：硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法
英文标准名称：Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H26
国际标准分类号（ICS）
29.040
发布日期
2004-02-05
实施日期
2004-07-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
备注
2004-07-01实施
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