标准号：GB/T 39145-2020

中文标准名称：硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文标准名称：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers—Inductively coupled plasma mass spectrometry
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H17
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2020-10-11
实施日期
2021-09-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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