标准号：GB/T 42709.36-2026 采 |
| 中文标准名称：半导体器件 微电子机械器件 第 36 部分：MEMS 压电薄膜的环境及介电耐压试验方法 | |
| 英文标准名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 36: Environmental and dielectric withstand test methods for MEMS piezoelectric thin films | |
| 标准状态： 即将实施 | |
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