标准号：GB/T 41153-2021

中文标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
英文标准名称：Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H17
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2021-12-31
实施日期
2022-07-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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