标准号：GB/T 42709.2-2026 采 |
| 中文标准名称：半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法 | |
| 英文标准名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 2: Tensile testing method of thin film materials | |
| 标准状态： 即将实施 | |
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