标准号:GB/T 25915.13-2022 采 |
中文标准名称:洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 | |
英文标准名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications | |
标准状态: 现行 | |
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