标准号：GB/T 24578-2024 |
| 中文标准名称：半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法 | |
| 英文标准名称：Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy | |
| 标准状态： 现行 | |
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