标准号：GB/T 43313-2023 |
| 中文标准名称：碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法 | |
| 英文标准名称：Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics | |
| 标准状态： 现行 | |
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