标准号：GB/T 14847-2010

中文标准名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
英文标准名称：Test mothod for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H80
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2011-10-01实施,代替GB/T 14847-1993
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