标准号：GB/T 41652-2022

中文标准名称：刻蚀机用硅电极及硅环
英文标准名称：Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H 82
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2022-07-11
实施日期
2023-02-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
备注
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