标准号：GB/T 44375-2024

中文标准名称：300mm半导体设备装载端口要求
英文标准名称：Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
L97
国际标准分类号（ICS）
31.260
发布日期
2024-08-23
实施日期
2025-03-01
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
备注
  • 版权所有 侵权必究
  • 主管：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
  • 主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
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