标准号：GB/T 39159-2020

中文标准名称：集成电路用高纯铜合金靶材
英文标准名称：High purity copper alloy target for integrated circuit
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
H62
国际标准分类号（ICS）
77.150.30
发布日期
2020-11-19
实施日期
2021-10-01
主管部门
中国有色金属工业协会
归口部门
中国有色金属工业协会
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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