标准号：GB/T 38614-2020

中文标准名称：基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
英文标准名称：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
N10
国际标准分类号（ICS）
01.040.39
发布日期
2020-04-28
实施日期
2020-11-01
主管部门
工业和信息化部（电子）
归口部门
工业和信息化部（电子）
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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