标准号：GB/T 19921-2005

中文标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文标准名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces
标准状态： 废止
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中国标准分类号（CCS）
H17
国际标准分类号（ICS）
77.040.01
发布日期
2005-09-19
实施日期
2006-04-01
主管部门
中国有色金属工业协会
归口部门
中国有色金属工业协会
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2006-04-01实施
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  • 主管：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
  • 主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
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