标准号:GB/T 34178-2017

中文标准名称:光掩模石英玻璃基板
英文标准名称:Silica glass substrates for photomask
标准状态: 现行
中国标准分类号(CCS)
Q35
国际标准分类号(ICS)
81.040.30
发布日期
2017-09-07
实施日期
2018-08-01
主管部门
中国建筑材料联合会
归口部门
中国建筑材料联合会
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注