标准号：GB/T 29844-2013

中文标准名称：用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
英文标准名称：Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy
标准状态： 现行
中国标准分类号（CCS）
L90
国际标准分类号（ICS）
31.030
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
主管部门
国家标准委
归口部门
国家标准委
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
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